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两大制程环境

一、净化防护环境
空气中充满灰尘粒子,而这些灰尘粒子除了影响产品外观,还会在半导体中形成导电。因此,净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用,根据产品不同,生产流程中须建立不同级别的净化室。此外,光纤工业、液晶显示工业、生物工程、医药工业也对净利化技术及产品有巨大的需求。

二、防静电环境
产品的移动、摩擦及空气的流动均可能产生上万伏高压电荷,形成静电。在所有的半导体生产领域,由于静电的负面效应,使得保持高水准的产品质量和成品率变得更加困难。缺少静电控制,将导致微粒污染,静电放电损坏和设备故障。随着电子产业向高度集成化、精密化的发展,防静电技术成为电子制造业重点关注的技术之一。